クリーンルームの清掃

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クリーンルームとはコンタミネーションコントロールが行われている限られた空間のことです。つまり、空気中における浮遊微粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、またその空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われています。

弊社ではクリーンルームの建設引渡し時の特別清掃や、稼動後の日常清掃・定期清掃等、使用用途や清浄度に応じて、トータル的にサポート致します。

クリーンルーム技術の活用

さまざまな分野でクリーンルーム技術が活用されています

クリーンルームの種類(使用目的)

クリーンルーム清掃の目的

床に堆積した粒子は、作業員の歩行により再飛散します。

清掃は美観維持のために行われるのではなく、製品への汚染リスクを低減し、清浄度を維持するために行われます。

クリーンルーム清掃の種類

<日常清掃>
汚染リスクが高い箇所。特に更衣領域や移動領域など要員の活動が活発な箇所は、汚染が高レベルで蓄積する為、汚染がクリーンルーム内に移動しないように、より多くの頻度で実施する事が望ましい。

主な作業部位:床面・扉・パスボックス・エアシャワー

<定期清掃>
日常清掃では対応が難しい箇所・汚染リスクが低い箇所。清掃スケジュールには少ない頻度での清掃も反映させる事が望ましい。

主な作業部位:壁面・天井面・ダクト・配管・照明器具

<特別清掃>
建物建設時・改修時など汚染状態からの清掃。汚染状態からの清掃は清浄度が許容レベルに達するまで、段階的な清掃を実施する事が望ましい。

粗清掃(粒径50μmを超える粗大粒子汚染の除去)→普通清掃(粒径10μm~50μmの粒子汚染の除去)→精密清掃(粒径10μm未満の残留している粒子汚染の除去)

クリーンルーム清掃部位・頻度

  清掃内容
日常清掃 定期清掃
方法 頻度 方法 頻度
部位 天井 天井表面     1 純水による水拭き 1回/3ヶ月
2 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/6ヶ月
天井裏     (天井プレナム) - - 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/12ヶ月
2 純水による水拭き 1回/12ヶ月
3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/12ヶ月
壁表面 - - 1 純水による水拭き 1回/3ヶ月
2 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/6ヶ月
目地・シール部分 - - 1 純水による水拭き 1回/3ヶ月
2 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/6ヶ月
レターンシャフト - - 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/3ヶ月
2 純水による水拭き 1回/3ヶ月
3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/3ヶ月
床表面-
平坦なもの
1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/日 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/週
2 純水による水拭き 1回/日 2 純水による水拭き 1回/週
- - 3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/月
床表面-
グレーチング
パンチング
1-1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/日 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/週
1-2 純水による水拭き 1回/日 2 純水による水拭き 1回/週
- - 3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/月
床下(チャンパ) - - 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/12ヶ月
2 純水による水拭き 1回/12ヶ月
3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/12ヶ月
開口部 扉・窓 1 純水による水拭き 1回/日 1 純水による水拭き 1回/週
- - 2 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/週
パスボックス 1 純水による水拭き 1回/日 1 純水による水拭き 1回/週
- - 2 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/週
設備機器 エアシャワー 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/日 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/週
2 純水による水拭き 1回/日 2 純水による水拭き 1回/週
- - 3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/週
ダクト・配管 - - 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/3ヶ月
2 純水による水拭き 1回/3ヶ月
3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/3ヶ月
排気口 - - 1 クリーンルーム専用の真空掃除機による除じん 1回/月
2 純水による水拭き 1回/月
3 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/月
照明器具 - - 1 純水による水拭き 1回/3ヶ月
2 クリーンルーム専用洗剤または溶剤による拭きとり 1回/3ヶ月

参考資料:日本空気清浄協会JACA №27-1992 クリーンルームにおける清浄化指針

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