クリーンルームの測定
クリーンルームの性能が維持できているか、定期的に確認することが大事です。
クリーンルーム測定の種類
- <浮遊微粒子濃度測定>
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室内の清浄度が求められる清浄度クラスに保たれているかを確認します。
- <風速・風量測定(換気回数測定)>
- 適切な風量が確保されているのかを確認します。
- 風量が確保されていないと室圧が乱れ、隣接した区域からの空気を招く原因にもなります。
また、清浄度を確保するため部屋の空気が必要回数以上入れ替わっているか確認します。
- <室内圧力差測定>
- 部屋の設計や用途により陽圧・等圧・陰圧が決められているので、隣接する区域に対して差圧が保たれているかを確認します。
- <温度・湿度測定>
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部屋の設計により必要な温度・湿度で管理されているのかを確認します。
- <HEPAフィルタリーク測定>
- HEPAフィルタの破損や劣化により微粒子の漏れがないかを確認します。
また、交換時にはズレによって漏れがないかを確認します。
- <清浄度回復測定>
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どのくらいの時間で設計値通りの清浄度に回復するのかを確認します。
- <気流分布測定>
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室内での風速の均一性を測ります。
- <照度測定>
部屋により作業の効率性や快適さを維持しているのかを確認します。
- <浮遊菌数測定>
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菌は単体では空中を移動出来ないとされているが、室内にどれだけの菌が浮遊しているのかを確認します。
- <表面付着菌数測定>
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私たちが普段触れている場所にどれだけの菌がついているのかを確認します。