クリーンルーム清掃ではなぜ純水が用いられるのか

2020.02.25

純水は、一般に私たちが使用している上水に含まれる、カルシウムや炭酸ガス、塩素などの大部分が除去された状態のものを言い、純度により、純水・超純水に分けられます。

クリーンルームで製造される製品に於いては、清掃後ごく微量の不純物が残っているだけでも製品に重大な影響を及ぼす事があります。クリーンルーム清掃の際は、製造されている製品により使用する水についても配慮が必要です。