クリーンルームの清掃

床に堆積した粒子は、作業員の歩行により再飛散します。
清掃は美観維持のために行われるのではなく、製品への汚染リスクを低減し、清浄度を維持するために必要です。

クリーンルーム清掃の種類

  • ＜日常清掃＞
    汚染リスクが高い箇所。
  • 特に更衣領域や移動領域など要員の活動が活発な箇所は、汚染が高レベルで蓄積する為、汚染がクリーンルーム内に移動しないように、より多くの頻度で実施する事が望ましい。

    主な作業部位：床面・扉・パスボックス・エアシャワー

    ＜定期清掃＞
    日常清掃では対応が難しい箇所・汚染リスクが低い箇所。
  • 清掃スケジュールには少ない頻度での清掃も反映させる事が望ましい。

    主な作業部位：壁面・天井面・ダクト・配管・照明器具

    ＜特別清掃＞
    建物建設時・改修時など汚染状態からの清掃。
  • 汚染状態からの清掃は清浄度が許容レベルに達するまで、段階的な清掃を実施する事が望ましい。

    粗清掃（粒径50μｍを超える粗大粒子汚染の除去）→普通清掃（粒径10μｍ～50μｍの粒子汚染の除去）→精密清掃（粒径10μｍ未満の残留している粒子汚染の除去）

クリーンルームの清掃部位・頻度

  • クリーンルームの清掃の仕方が分からない・一度清浄度をリセットしたい、など気になることがありましたら
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